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特种气体在太阳能电池中的应用:非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6;非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。特种气体的储存注意事项:储存场地的道路,电子特种气体报价,应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏,长期存放的充填高压容器需要每月复检一次,并做记录。特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,
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