特种气体-安徽南环,惠-工业特种气体厂家

特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于---规模集成电路及分离器 件、光电子等---领域；灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，工业特种气体，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体，特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 lpcvd 沉积 tco 工序用到 dezn、b2h6；非晶/微晶硅沉积工序用到 sih4、ph3/h2、 tmb/h2、ch4、nf3 等。

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